8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進(jìn)行抽真空，同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。

8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

輸入功率	?     AC 220V , 50/60 Hz, ?    射頻功率：80 W Max.（標(biāo)準(zhǔn)）  ?    真空泵：正常550W,啟動750W ?    總功率：830W max. ?    工作電流≤3A
射頻功率	?    射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié) ?    射頻：13,56 MH ?    可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費(fèi)
等離子室	?  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 ? 體積: 12 L ? 鉸鏈?zhǔn)角胺ㄌm由鋁制成 ?  2.3”直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 ? 完全屏蔽RF輻射，零RF泄漏
控制面板	?  6”彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時(shí)間。 ? 內(nèi)置一個通道質(zhì)量流量計(jì)（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m
真空泵和閥門	? 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 ? *終總壓力為50 mTorr
惰性氣體	? 可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)） ? 等離子清潔器不得使用易燃?xì)怏w
總體尺寸	620 L×600 W×600 H, mm
保證	一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)

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