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產(chǎn)品名稱(chēng)：PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：CY-PECVD60R-1200-Q
產(chǎn)品廠(chǎng)商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

本產(chǎn)品為PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備。PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。

詳情介紹：

旋轉(zhuǎn)PECVD

本產(chǎn)品為等離子增強(qiáng)回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)PECVD），爐管采用變徑設(shè)計(jì)，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合，通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；設(shè)備另配有等離子發(fā)生裝置，采用電感耦合與爐管連接，產(chǎn)生的等離子能夠滿(mǎn)布爐管，有效的提高反應(yīng)物活化能，降低反應(yīng)溫度，提高反應(yīng)效率。設(shè)備配有三路質(zhì)量流量計(jì)及混氣裝置，可用于向路管內(nèi)通入多種氣體，同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過(guò)泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。

技術(shù)參數(shù)

雙溫區(qū)管式爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-PECVD60R-1200-Q
	設(shè)備功率	3KW
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管尺寸	Φ60420+Φ100360+Φ60*420mm（石英異型管）
	爐膛長(zhǎng)度	440mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	200mm+200mm
	工作溫度	0～1150℃
	極限溫度	1200℃
	控溫精度	±1℃
	熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
	控溫模式	30段程序控溫，PID參數(shù)自整定
	顯示模式	高清全彩LCD觸控屏
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	旋轉(zhuǎn)速度	0~13rpm
	傾斜角度	0~35°
3路質(zhì)量流量計(jì)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3Z
	氣路數(shù)量	3路
	流量計(jì)類(lèi)型	質(zhì)量流量計(jì)
	測(cè)量范圍	A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm
	測(cè)量精度	±1.5%
	工作壓差	0.1~0.5MPa
	管路接口	1/4英寸卡套接頭
	供電	AC220V 50/60Hz
真空系統(tǒng)	真空泵	雙極旋片泵
	抽速	1.1L/s
	抽氣接口	KF16
	泵極限真空度	10E-1Pa
	供電	AC220V 50/60Hz
射頻電源	信號(hào)頻率	13.56MHz±0.005%
	功率輸出范圍	0~500W
	*大反射功率	100W
	射頻輸出接口	50Ω，N-Type，female
	功率穩(wěn)定度	≤5W

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產(chǎn)品名稱(chēng)：PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備